Verdampferquellen
Elektronenstrahl -Verdampfer der neuesten Generation,
zur Herstellung von hochreinen, dünnen Schichten unter Hochvakuumbedingungen .
Modularen Aufbau von verschiedenste Verdampfer- typen und Größen.
Konfiguration: Eintiegel- oder Mehrtiegelmodul mit verschiedenen Tiegelkonfigurationen .
Leistung 4 -bis 10 kW.
Details bitte anfordern.
Optionen:
Ionenquellen unterschiedliche Typen
Thermische Verdampfer
Heizung
Planetesystem für Substrate … etc.
Software
Steuerung für Bedampfung-anlagen.
Windows 10 PC + S7 Steuerung,
Tastatur mit optischem Track-Ball,
HMI Prozessvisualisierung ,
Rezepturen Import/Export ,
(Rezepturen z.B. in Excel editierbar)
50 frei wählbare Schritte,
Data log als csv oder txt Datei,
Fehler- Meldungen, System-Meldungen,
Benutzerverwaltung
Modi:
Vollautomatisch, Semi-automatisch, Manuell,.
Service Mode für Simulation und Fehlersuche.
Deposition Kontroller integriert in die Steuerung.
Steuerung für Plasma-anlagen, Öfen … etc.
Simatic Panel Basic oder Confort
Prozessvisualisierung,
Bedienung: Automatik/Manuell
Speichern von bis zu 50 Rezepturen,
Einzel- Prozess,
Multi-Prozess : min. 10 Prozesse pro Rezeptur ,
Automatisches/Manuelles Abpumpen,
Benutzerverwaltung.
Schaltschrank
Schaltschrank
CE,
S7 Steuerung integriert,
Not Aus + Tür Monitor, abgesichert über Safe Relais,