Generatoren 300 – 1000W: LF, RF, MW
Applikationen:
Reinigen
Aktivieren
Ätzen
Beschichten durch Plasmapolymerisation .
Beispiele:
B300RF Barrel Reaktor
D = 300 mm
O2 Plasma,
600W 13,56 MHz,
Automatching, MFC für O2,
Druckregelung / Flowcontrol.
Automatik, (manuelle Steuerung möglich)
PS240MW Plasmastripper
D=240 mm
600W, 2,4 GHz,
2 Gase über MFC,
Ausführung: Manuel oder Automatik.