BAK760 Komplett überholt
Aufdampfanlage, Kammervolumen 900 Liter,
verschiedene Ausstattungsmöglichkeiten.
Grundausstattung :
Neuer Elektronenstrahl- Verdampfer bis 10kW
1- 8 Lochtiegel,
Filamentstromversorgung,
Egun Controller mit X-Y Ablenkung.
Drehdurchführung mit Substrathalter
Vakuumventile.
Kryopumpe Leybold DN 500
Heizung Balzers mit neuer Eurotherm Thyristorsteuerung (PN)
Wasserverteiler für Kaltwasser,
Depositionkontroller Inficon XTC/2 XTC/3 S/M
Neue Messzellen – Pfeiffer
Schaltschrank komplett neu aufgebaut – CE
SPS Steuerung . Bedienung über Windows 10 PC
Neue Software. Betrieb: Hand, Service, Vollautomatisch
Praktisch unbegrenzter Speicherplatz für Rezepte und Materialdatenbank
Bis zu 50 Prozessschritte
Benutzerverwaltung, Datalog etc…
Optionen:
- Ionenquelle,
- Thermische Verdampfer,
- Warmwasserverteiler,
- Mehrfachquarzwechsler
- Planetengetriebe für Substrate
Gewährleistung 1 Jahr.
Alternativ . Diffusionspumpe Balzers 500A
Balzers Elektronenstrahlverdampfer mit EHV110, EKS100, Filamentrafo, ESQ110.
Auf Wunsch auch andere Komponenten. Sprechen Sie mit uns.
LAB450 –
Kleine Labor Aufdampfanlage,
Kammervolumen ca.250 Liter,
(B x H x T : 420 x 580 x 480)
Ausstattung:
Turbopumpe, Vakuumesszellen
Drehantrieb, Wasserkühlung ,
Heizung 2kW über IR Strahler.
Egun neu 4 kW, 8kV
Optionen:
Ionenquelle, Warmwasser
alternative Quelle :Thermischer Verdampfer,
Steuerung :
Neue Simatic mit S7 und Windows 10 PC
Vollautomatisch, Manuell, Service.
Deposition-Kontroller integriert.
CE, 1 Jahr Gewährleistung
Plasma DOMINO – Anlage Komplett überholt
13.56 MHz Niederdruck Plasmaanlage zur Oberflächenbehandlung von Polymeren, Metallischen Werkstoffe, Geweben, Glaswerkstoffen etc.
3 Gase über MFC
Generator ENI 1000 W und Automatching,
Prozesskammer:
Material: Edelstahl
Volumen: 80 Liter
Innenmaße: 400 × 400 × 500 mm (B × H × T)
Außenmaße: 600 × 1900 × 800 mm (B × H × T)
Neue Simatic Steuerung: Automatik, Manuell
Einzel Prozess,
Multi Prozess mit bis zu 50 Rezepturen und 10 Prozesse/Rezeptur
(mehr Prozesse möglich)
Gewährleistung 1 Jahr