Karl Suss Standard Mask Aligner.

System zur Belichtung von Teilwafern oder Substraten bis zu einer maximalen Größe von 3 Zoll Durchmesser.
Harte oder weiche Kontaktmodi. 365nm bis 400nm Spektrum einer 200W Hochdruckbogenlampe.
Die Ausrichtungsoptik besteht aus einem Feldmikroskop mit 4 Objektiven.
230V 50Hz